Magalasi a F-Theta amagwiritsidwa ntchito nthawi zambiri limodzi ndi magalasi ojambulira a galvanometer mu makina ojambulira, kudula, ndi kulemba chizindikiro a laser. Nthawi zambiri kusokonekera kwa F-Theta kwa lensi kumakhala kochepera 1% kuti ipange malo enieni pamalo athyathyathya pachithunzicho.
Kulekerera kwa m'mimba mwake: +0/-0.13mm
Kulekerera Kunenepa: ± 0.25mm
Kulekerera Kutalika kwa Focal: ± 2%
Kusiyana kwa Kukhuthala kwa Mphepete (ETV): ≤3 arc min.
Chitseko Chotseguka: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Ubwino Wapamwamba: 40-20 SD
Chophimba cha AR: R<0.2% pa malo aliwonse @10.6μ