Kuwunikira kwa Zamalonda: Kutentha kwa Laser kwa Semiconductor Wafer Annealing

Kuthira ma wafer ndi njira yofunika kwambiri popanga ma semiconductor, kuphatikizapo kuyambitsa dopant, kubwezeretsa ma lattice, ndi kupangika kwa ultra-shallow junction (USJ). Kuthira ma wafer ndi rapid thermal processing (RTP) kumakhala ndi bajeti yayikulu ya kutentha, kufalikira kwa dopant kosalamulirika bwino, komanso kufanana kosakwanira, zomwe zimapangitsa kuti zikhale zosakwanira pa ma node apamwamba aukadaulo pa 7 nm, 5 nm, ndi kupitirira apo—makamaka pa zomangamanga za Gate-All-Around (GAA) ndi 3D NAND flash memory. Kuthira ma wafer pogwiritsa ntchito laser, komwe kumakhala ndi mphamvu zambiri, kulondola kwa malo a micron, komanso kufalikira kochepa kwa kutentha, kwakhala njira yofunika kwambiri yokwaniritsira zofunikira izi zopanga.

Mfundo Yofunika Kwambiri Yotenthetsera Laser

Mutu wotenthetsera wa laser wa Wave Optics uli ndi kapangidwe kake ka kuwala komwe kamapereka kuwala kwa laser kofanana ndi kutentha komwe kumapereka kuwala kolondola kwa malo a wafer. Laser yobiriwirayi imapereka kuyanjana kwabwino kwambiri ndi zinthu zopangidwa ndi silicon (kuphatikiza SiC), zomwe zimathandiza kuti kutentha kugwiritsidwe ntchito bwino popanda kuwononga wafer. Izi zimathandiza kuti pakhale kubwezeretsanso kwa gawo lowonongeka lomwe laikidwa mu ion komanso kuti dopant igwire ntchito bwino. Pambuyo pake, kutentha kwakukulu kwa substrate kumathandiza kuziziritsa mwachangu kwambiri, komwe kumaundana kapangidwe ka lattice ndikuletsa kufalikira kwa dopant. Njirayi imapanga bwino malo olumikizirana osaya kwambiri okhala ndi mphamvu zambiri zoyatsira komanso mawonekedwe otsetsereka (mwadzidzidzi).

Kutenthetsa ndi Laser Ndikofunikira Kwambiri Pakukonza Kuchuluka kwa Kuphika kwa Wafer

1. Kufanana kwa Mtanda: Kufanana kwa mphamvu ya malo otsetsereka pamwamba pa denga kumaposa 95% (mwachizolowezi), zomwe zimapangitsa kuti kusungunuka kwambiri kapena kusasungunuka bwino kwa madzi kusamayende bwino.
2. Kukhazikika kwa Mphamvu: Kusinthasintha kosalekeza kwa mphamvu yotulutsa kuli pansi pa 2%, zomwe zimapangitsa kuti pakhale kusinthasintha kwabwino pakati pa wafer ndi wafer komanso kuti pakhale kusinthasintha kwa batch ndi batch.
3. Kulondola kwa Chithunzi Chapamwamba: Zigawo zowunikira zimakhala ndi ma PV/RMS ofanana ndi nanometer okhala ndi kupotoza kwa mafunde a wavefront kolamulidwa bwino, kuteteza kuwonongeka kwa malo otentha.
4. Kuzama kwa Kuyang'ana ndi Kupanga Mitengo: Kuzama kwa kung'ana komwe kungasinthidwe pamodzi ndi kusakanikirana kwa mitengo kumathandiza kusanthula kwathunthu kwa ma wafer akuluakulu.
5. Kufananiza Mafunde: Kwakonzedwa kuti mafunde a silicon ndi ma semiconductor a m'badwo wachitatu azigwira ntchito bwino kwambiri (monga SiC, GaN) kuti agwiritse ntchito bwino mphamvu.

Ubwino Waukulu Utatu Poyerekeza ndi Kuyika Kwachizolowezi

1. Kuletsa bwino kwambiri kufalikira kwa dopant - Kutentha kumakhala kochepa pa nanosecond-to-millisecond yokhala ndi kufalikira kwa dopant pafupi ndi zero, mphamvu yomwe singapezeke ndi kulowetsedwa kwa uvuni kapena RTP.

2. Kutsika kwa kutentha komanso kuwonongeka kochepa kwa chipangizo - Malo osungiramo zinthu omwe ali pamwamba pa wafer ndi omwe amakumana ndi kutentha kwachangu kwakanthawi kochepa, zomwe zimapangitsa kuti kutentha kusakhale kosinthika kwa substrate kapena kapangidwe ka chipangizocho komanso kuti kusawonongeka kwa nkhope.

3. Kuthira madzi m'malo osankhidwa bwino - Madontho a mizera ya micron omwe amatha kusinthidwa amathandizira kuthira madzi m'malo osiyanasiyana kuti agwirizane ndi 3D komanso zipangizo zosiyanasiyana zolumikizidwa.

Zochitika Zogwiritsira Ntchito

Mapulogalamuwa akuphatikizapo kuyambitsa gwero/kutulutsa madzi, kukonza njira, ndi kulowetsa madzi ogwirizana ndi ohmic pa logic yapamwamba (GAA/CFET), DRAM/3D NAND, zida zamagetsi za SiC/GaN, SOI, ndi zida zazing'ono/nano. Kulowetsa madzi pogwiritsa ntchito laser kumabweretsa kusintha kwa magwiridwe antchito a chipangizocho nthawi imodzi.

Kuphimba kwa laser kumasuntha makina opangira ma wafer kuchoka pa kuphimba kwapadziko lonse lapansi (bulangeti) kupita ku kuphimba kwapadera kwapakhomo. Ukadaulo wake wamphamvu wa kuwala umathandizira kupitiliza kukula ndi magwiridwe antchito a ma semiconductor nodes apamwamba.

Pepala Lofotokozera Zamalonda